太阳能

2021, No.321(01) 5-10

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2020年中国光伏技术发展报告——晶体硅太阳电池研究进展(4)
Report on 2020 China PV technology development——research progress of crystalline silicon solar cells(part 4)

中国可再生能源学会光伏专业委员会

摘要(Abstract):

<正>目前TOPCon电池的一大任务就是如何简化制备工艺,以便最大限度地降低成本。图24给出了TOPCon电池的3种不同的工业化工艺流程,这3种工艺分别为LPCVD制备多晶硅膜结合传统的全扩散工艺、LPCVD制备多晶硅膜结合扩硼及离子注入磷工艺,以及PECVD制备多晶硅膜并原位掺杂工艺。

关键词(KeyWords):

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 中国可再生能源学会光伏专业委员会

DOI: 10.19911/j.1003-0417.tyn2020.04

参考文献(References):

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