硼扩散设备若干难点问题的研究STUDY ON SOME DIFFICULT PROBLEMS OF BORON DIFFUSION EQUIPMENT
彭浩,赵志然,龙辉,郭浩
摘要(Abstract)：
随着针对n型太阳电池的投资提速，国内光伏企业积极开展TOPCon太阳电池布局，产业化进程得到加速，推进新技术落地。硼扩散设备作为TOPCon太阳电池技术的关键工艺设备之一，获得了市场极大的关注。针对硼扩散设备使用过程中遇到的不同类型硼源的问题，通过分析各种硼源的特性，提出了相应的硼源处理方案，并验证了硼源控制效果；针对副产物硼硅玻璃(BSG)粘连的问题，通过分析副产物的特点和危害，提出了斜率升降温功能；针对高能耗的问题，通过分析能耗的主要来源，提出了设备加热功率输出比功能。研究结果表明：所提出的这些方法能有效解决这几个难点问题，有助于提高硼扩散设备的稳定性。
关键词(KeyWords)： TOPCon太阳电池;硼扩散设备;硼源;硼硅玻璃;高能耗
基金项目(Foundation):
作者(Author): 彭浩,赵志然,龙辉,郭浩
DOI: 10.19911/j.1003-0417.tyn20211203.01
参考文献(References)：
- [1] WEIZER V G,BRANDHORST H W,BRODER J D,et al. Photon-degradation effects in terrestrial silicon solar cells[J]. Journal of applied physics,1979,50(6):4443-4449.
- [2] C U E VA S A,K E R R M J,S A M U N D S E T T C,et al. Millisecond minority carrier lifetimes in n-type multicrystalline silicon[J]. Applied physics letters,2002,81(26):4952-4954.
- [3]郑达敏，赵增超，刘舟，等.高效太阳电池技术及其核心装备国产化进展[J].有色设备，2021,35(5):78-82,88.
- [4] WOLF S D,CHOULAT P,SZLUFCIK J,et al. Lightinduced degradation of very low resistivity multi-crystalline silicon solar cells[C]//Conference Record of the TwentyEighth IEEE Photovoltaic Specialists Conference,S e p t e m b e r 15-22,2000,A n c h o r a g e,A K,USA.Washington:IEEE,200053-200056.
- [5]黄志海，陈勇平，赵志然，等.基于BBr3液态硼源的管式扩散设备研究与开发[J].电子工业专用设备，2020,49(4):9-12.