用磁控反应溅射法制取选择性吸收膜
姜维民,赵桂珍
摘要(Abstract):
<正> 以往,我们是用化学沉银电镀黑镍来制取真空集热管吸收膜的。但这种工艺不稳定,膜的均匀性差,同时要消耗大量的白银和其它试剂,排出的废液又污染环境。髓着真空技术的发展,现在我们改用磁控反应溅射法来制取选择性吸收膜,取得了良好效果。用这种方法制出的膜,吸收率高,发射率低,均匀性好,无污染,可节省大量白银。下面简单介绍一下这种膜的制取方法。
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作者(Author): 姜维民,赵桂珍