李东升,俞东雷,冯明,龚小雷,钱海龙

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摘要(Abstract)：

介绍了一种新型的三氯氧磷集中供应装置。该装置通过对不锈钢表面化学气相沉积处理,实现了防腐功能。同时采用全自动集中供应方式,确保了硅太阳电池扩散炉生产中的安全和纯度控制。

关键词(KeyWords)： 三氯氧磷;供应系统

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基金项目(Foundation):

作者(Author): 李东升,俞东雷,冯明,龚小雷,钱海龙

参考文献(References)：