硅晶体线锯切削液的应用与发展
陈仁芳,邓宝祥,王晴晴
摘要(Abstract)：
切削液是硅晶体线锯切割过程中必不可少的附材,切削液组分随切割方式的不同而发生变化来满足对线锯切割的需求。本文对硅晶体切削液的分类及近年来切削液组分的研究状况进行了综述,分析了黏度、表面张力、p H值对切削液性能的影响,并预测了未来切削液的发展趋势。
关键词(KeyWords)： 切削液;硅晶体;线锯切割;性能
基金项目(Foundation):
作者(Author): 陈仁芳,邓宝祥,王晴晴
参考文献(References)：
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