Al_2O_3背钝化太阳电池量产工艺研究
董鹏,陈璐,吴翔
摘要(Abstract)：
通过在大规模工业生产线上进行Al2O3背钝化太阳电池试制,对最终结果进行分析研究,总结出对Al2O3背钝化太阳电池有着主要影响的工艺过程与工艺步骤,为Al2O3背钝化太阳电池的生产提供参考。
关键词(KeyWords)： Al2O3;背钝化;太阳电池;PERC;背面复合
基金项目(Foundation):
作者(Author): 董鹏,陈璐,吴翔
参考文献(References)：
- [1]管绍茂,王迅.半导体表面钝化技术及应用[M].北京:国防工业出版社,1981.
- [2]陈庭金,刘祖明,徐洁磊.多晶硅太阳电池的表面和界面复合[J].太阳能学报,2000,21(2):133–139.
- [3]阙端麟.硅材料科学与技术[M].杭州:浙江大学出版社,2000.
- [4]陶路平,陈达明,洪瑞江.背面点接触结构在晶体硅太阳电池中的应用[J].材料导报,2011,25(13):124–129.
- [5]Arm N G.Aberle cristalline silicon solar cells advanced surface passivation and analysis[M].Printed by bloxham and chambers pty Ltd,1 Leeds Street,Rhodes NSW2138,Austrlia.
- [6]Brendle W,Nguyen V X,Grohe A,et a1.20.5%effi cient silicon solar cell with a low temperature rear side process using laser-fired contact[J].Progress in Photovoltaics:Research and Applications,2006,14(7):653–662.