原子层沉积Al_2O_3钝化膜在太阳电池上的应用研究
权微娟,贺海晏,单伟,王仕鹏,黄海燕,陆川
摘要(Abstract)：
通过原子层沉积(ALD)法制备晶体硅钝化发射极背面接触(PERC)太阳电池中的Al_2O_3钝化膜,研究ALD工艺三甲基铝(TMA)流量、H_2O流量对Al_2O_3沉积速率的影响。采用不同厚度的Al_2O_3钝化膜制备晶体硅PERC太阳电池,结果显示电池效率随Al_2O_3膜厚的增加呈先升后降趋势,Al_2O_3厚度为7 nm时电池效率最高,达到了19.15%。
关键词(KeyWords)： 原子层沉积;背钝化;Al_2O_3
基金项目(Foundation):
作者(Author): 权微娟,贺海晏,单伟,王仕鹏,黄海燕,陆川
参考文献(References)：
- [1]范欢欢.原子层沉积制备氧化物光学薄膜的特性研究[D].杭州:浙江大学,2013.
- [2]张祥.Al2O3钝化及其在晶硅太阳电池中的应用[J].物理学报,2012,61(18):187303-1-187303-8.
- [3]Dingemans G.Status and prospects of Al2O3-based surface passivation schemes for silicon solar cells[J].Journal of Vacuum Science&Technology A,2012,30(4):040802-1-040802-27.
- [4]孙昀.用于高效硅太阳电池的原子层沉积Al2O3表面钝化特性研究[J].太阳能,2013,(6):38-40.