太阳能

2017, No.278(06) 29-31

[打印本页] [关闭]
本期目录(Current Issue) | 过刊浏览(Archive) | 高级检索(Advanced Search)

原子层沉积Al_2O_3钝化膜在太阳电池上的应用研究

权微娟,贺海晏,单伟,王仕鹏,黄海燕,陆川

摘要(Abstract):

通过原子层沉积(ALD)法制备晶体硅钝化发射极背面接触(PERC)太阳电池中的Al_2O_3钝化膜,研究ALD工艺三甲基铝(TMA)流量、H_2O流量对Al_2O_3沉积速率的影响。采用不同厚度的Al_2O_3钝化膜制备晶体硅PERC太阳电池,结果显示电池效率随Al_2O_3膜厚的增加呈先升后降趋势,Al_2O_3厚度为7 nm时电池效率最高,达到了19.15%。

关键词(KeyWords): 原子层沉积;背钝化;Al_2O_3

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 权微娟,贺海晏,单伟,王仕鹏,黄海燕,陆川

扩展功能
本文信息
服务与反馈
本文关键词相关文章
本文作者相关文章
中国知网
分享