一种PECVD设备中SiH_4及N_2的气体分析方案
潘阿伟
摘要(Abstract)：
针对市场需求,在对数拟合的计算方法基础上,采用电化学分析,基于AduC812芯片,提出了一种应用于等离子体增强化学气相沉积法(PECVD沉积法)设备的双通道气体分析仪的理论基础。以便携式双路(SiH_4/N_2)气体分析仪——FXY02型气体分析仪为例,阐述了其系统架构、关键技术。该气体分析仪可满足各种气体分析的需求。
关键词(KeyWords)： 光伏设备;气体分析;对数拟合;电化学技术;计算机控制
基金项目(Foundation):
作者(Author): 潘阿伟