印刷氧化铝技术在黑硅PERC多晶太阳电池中的应用Application of printed alumina technology in black silicon PERC polycrystalline solar cells
于琨,王占友,郑海陆,郭明州,孙亚娟,贺美亮,李会玲
摘要(Abstract)：
黑硅PERC多晶太阳电池采用背抛光工艺,其背面刻蚀深度在4.0±0.2μm,在800～1050 nm的光学波长范围内,其反射率较常规刻蚀制备的黑硅多晶太阳电池提升了10%左右;采用氧化铝及氮化硅钝化制备的黑硅PERC多晶太阳电池,WT-2000测得其少子寿命达到33μs;开路电压提升了15.2 mV,短路电流提高了0.372 A,效率达到20.06%。
关键词(KeyWords)： 印刷;氧化铝浆料;PERC;黑硅;多晶;太阳电池
基金项目(Foundation):
作者(Author): 于琨,王占友,郑海陆,郭明州,孙亚娟,贺美亮,李会玲
参考文献(References)：
- [1]陈伟,贾锐,张希清,等.晶体硅太阳电池表面钝化技术[J].微纳电子技术, 2011,(2):118-127.
- [2]赵彦,周春兰,汤叶华,等.氧化铝铝/氮化硅叠层钝化晶体硅表面的特性研究[A].第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12)论文集[C].北京, 2012.
- [3] Chen T C, Ku C H, Lin Y S, et al. Implementation of printedAlOx PERC technology on multi-crystalline silicon solar cells:Impact of wafer quality[A]. 2015 IEEE 42nd Photovoltaic Specialist Conference[C]. New Orleans, Louisiana, USA, 2015.
- [4] Lin Y S, Hung J Y, Ku C H, et al. Toward 21.4%Efficiency by Implementing Industrially Feasible Technologies in Printed-AlOx PERC Technology[A]. 33rd European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition[C]. Amsterdam, Netherlands, 2017.
- [5] Huang H, Lv J, Bao Y, et al. Data of ALD Al2O3 rear surface passivation, Al2O3 PERC cell performance, and cell efficiency loss mechanisms of Al2O3 PERC cell[J]. Data in Brief, 2017, 11:19-26.
- [6]赵保星,赵增超,杨一鸣,等.单面抛光在PERC电池中应用的研究[J].太阳能, 2017,(6):23-26.
- [7] Senol Kaya, Erhan Budak, Ercan Yilmaz. Effects of annealing temperature on electrical characteristics of sputtered Al/Al2O3/p-Si(MOS)capacitors[J]. Turkish Journal of Physics, 2018, 42(4):470-477.
- [8]孙昀,贾锐,孟彦龙,等.用于高效硅太阳电池的原子层沉积Al2O3表面钝化特性研究[J].太阳能, 2013,(6):38-40.
- [9]郑超凡,沈鸿烈,蒲天,等.银铜双原子MACE法可控制备倒金字塔多晶黑硅的结构与性能[J].光子学报, 2017,(1):58-64.
- [10]蔡先武,周子游,刘文峰.单晶硅PERC高效太阳电池量产工艺研究[J].太阳能, 2017,(9):19-22.
- [11]权微娟,贺海晏,单伟,等.原子层沉积Al2O3钝化膜在太阳电池上的应用研究[J].太阳能, 2017,(6):29-31.
- [12]张炳烨,谢洪丽,方铉,等.原子层沉积AlOx薄膜对单晶硅太阳能电池钝化机制的影响[J].发光学报, 2016, 37(2):192-196.