新型拉晶炉在硅芯制备中的应用Application research of new type crystallizing furnace in preparation of silicon core
王玉亮
摘要(Abstract)：
介绍了一种新型拉晶炉,采用直拉法拉制大直径硅棒,然后切割成方硅芯。该种拉晶炉一次性出硅芯数量多,弯曲度可控,表面附着力强,可大幅提高硅芯的生产效率。
关键词(KeyWords)： 硅芯制备;拉晶炉;方硅芯;热场
基金项目(Foundation):
作者(Author): 王玉亮