韦瑶,黄红娜,刘旭,吕鹏飞,李严明

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摘要(Abstract)：

以添加了选择性发射极(SE)工艺的“SE+PERC”单晶硅太阳电池为研究对象，通过改变SE激光掺杂处理时的激光功率、激光频率和激光扫描速度这3个参数，研究了不同激光参数对硅片的方阻差值、激光光斑形貌、硅片绒面微观结构，以及“SE+PERC”单晶硅太阳电池电性能等方面的影响。研究结果表明：激光光斑重叠率随着激光频率的增大而增大，随着激光扫描速度的增大而减小，与激光功率无关；激光功率越大、激光频率越小或激光扫描速度越小，硅片的方阻差值越大，对硅片绒面金字塔结构的损伤越大。因此，“SE+PERC”单晶硅太阳电池生产线需结合自身情况，在SE激光掺杂处理时匹配合适的激光功率、激光频率和激光扫描速度等激光参数。研究结果对今后“SE+PERC”单晶硅太阳电池生产线选择合适的SE激光参数具有一定的参考价值。

关键词(KeyWords)： PERC单晶硅太阳电池;选择性发射极;激光参数;激光光斑;绒面微观结构;电性能

Abstract:

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基金项目(Foundation):

作者(Author): 韦瑶,黄红娜,刘旭,吕鹏飞,李严明

DOI: 10.19911/j.1003-0417.tyn20210430.01

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