郭艳,李明,吴得轶

• 1:湖南红太阳光电科技有限公司

摘要(Abstract)：

根据管式PECVD设备反应室的环形进气方式和平面进气方式建立了几何模型,并进行了三维流场数值仿真分析,然后根据仿真结果对反应室结构进行了优化设计。数值仿真对PECVD设备反应室结构的优化设计及工艺调试具有重要的指导意义。

关键词(KeyWords)： 管式;PECVD;反应室;结构;流场数值仿真;优化设计

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 郭艳,李明,吴得轶

参考文献(References)：

• [1]王晓泉,汪雷,席珍强,等.PECVD淀积氮化硅薄膜性质研究[J].太阳能学报,2004,25(3):341-344.
• [2]宋玲,刘恺,杨彬,等.生产型管式PECVD设备[J].电子工业专用设备，2005(11):34-36.
• [3]王福军.计算流体动力学分析--CFD软件原理与应用[M].北京:清华大学出版社,2004.
• [4]夏焕雄,向东,牟鹏,等.PECVD腔室热流场数值仿真研究[J].人工晶体学报,2012,41(4):1030-1036.