管式PECVD设备反应室结构的优化设计与数值仿真研究RESEARCH ON OPTIMAL DESIGN AND NUMERICAL SIMULATION OF THE STRUCTURE OF THE REACTION CHAMBER OF TUBULAR PECVD EQUIPMENT
郭艳,李明,吴得轶
摘要(Abstract):
根据管式PECVD设备反应室的环形进气方式和平面进气方式建立了几何模型,并进行了三维流场数值仿真分析,然后根据仿真结果对反应室结构进行了优化设计。数值仿真对PECVD设备反应室结构的优化设计及工艺调试具有重要的指导意义。
关键词(KeyWords): 管式;PECVD;反应室;结构;流场数值仿真;优化设计
基金项目(Foundation):
作者(Author): 郭艳,李明,吴得轶