太阳能

2016, No.267(07) 35-39

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离子注入技术在n型电池p-n结制备中的应用

郑璐,何凤琴,卢刚,张治,郭灵山

摘要(Abstract):

介绍了离子注入制备n型电池p-n结的工艺原理及工艺特点,通过对n型硅片和p+发射极主要参数进行模拟分析,得到高效n型电池性能参数的范围及趋势;并对比不同离子注入剂量对n型电池p-n结方阻、implied V_(oc)及J_(0e)的影响,确定了制备高质量n型电池p-n结的离子注入剂量。

关键词(KeyWords): 离子注入;n型硅片;n型电池;p-n结

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 郑璐,何凤琴,卢刚,张治,郭灵山

参考文献(References):

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