康忠平,江坚,张斌,张剑峰,卢玉荣,王仕鹏,黄海燕,陆川

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摘要(Abstract)：

通过对现有单面扩散工艺的分析论证,提出了一种可在进出舟、氧化、预扩散、再分布、降温等步骤上缩短单面扩散工艺时间的方法,时间可缩短19 min,产能可提高21.8%。

关键词(KeyWords)： 太阳电池p-n结;杂质浓度;产能提升;单面扩散;减少时间

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 康忠平,江坚,张斌,张剑峰,卢玉荣,王仕鹏,黄海燕,陆川

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