基于大产能的管式PECVD设备推舟机构的结构优化与仿真研究RESEARCH ON STRUCTURAL OPTIMIZATION AND SIMULATION OF PUSH BOAT MECHANISM OF TUBULAR PECVD EQUIPMENT BASED ON LARGE CAPACITY
朱辉,成秋云,李晔纯,曾昭贤,龙辉
摘要(Abstract)：
对管式PECVD设备推舟机构的现有结构进行优化设计，利用ANSYS软件对优化后的结构进行仿真分析，从而获取大产能条件下各组成部件形变最小时的推舟机构结构。首先，对固定座组件结构进行优化；然后，在固定座组件优化后的基础上，对碳化硅杆结构进行优化；最后，在采用优化后的固定座组件及碳化硅杆结构基础上，通过对光轴直径、碳化硅杆的直径和壁厚进行仿真，得到整个推舟机构最佳的结构参数，可满足管式PECVD设备的大产能需求。
关键词(KeyWords)： 太阳电池;PECVD设备;推舟机构;结构优化;ANSYS软件;仿真
基金项目(Foundation): 2021年度长沙市技术创新中心项目(kh2101010);; 湖南省创新型省份建设专项任务书(2019年度)(2019TP2048)
作者(Author): 朱辉,成秋云,李晔纯,曾昭贤,龙辉
DOI: 10.19911/j.1003-0417.tyn20210914.02
参考文献(References)：
- [1]丁明,王伟胜,王秀丽,等.大规模光伏发电对电力系统影响综述[J].中国电机工程学报, 2014, 34(1):2-14.
- [2]朱辉,张春成,吴得轶,等.高效PERC电池智能制造新模式应用研究[J].制造业自动化, 2021, 43(7):134-136.
- [3]朱辉,黄心沿,郑达敏,等. 100 MW光伏车间自动化改造方案设计[J].智能制造, 2021(4):76-78.
- [4]朱辉,梁浩,谭瞻,等.具有辅助支撑的推舟机构及管式PECVD设备:212610893U[P]. 2021-02-26.
- [5]李晓莉.半导体异质结的发展及其性质的讨论[J].科技资讯, 2010(28):29-30.