太阳能

2022, No.336(04) 83-86

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基于大产能的管式PECVD设备推舟机构的结构优化与仿真研究
RESEARCH ON STRUCTURAL OPTIMIZATION AND SIMULATION OF PUSH BOAT MECHANISM OF TUBULAR PECVD EQUIPMENT BASED ON LARGE CAPACITY

朱辉,成秋云,李晔纯,曾昭贤,龙辉

摘要(Abstract):

对管式PECVD设备推舟机构的现有结构进行优化设计,利用ANSYS软件对优化后的结构进行仿真分析,从而获取大产能条件下各组成部件形变最小时的推舟机构结构。首先,对固定座组件结构进行优化;然后,在固定座组件优化后的基础上,对碳化硅杆结构进行优化;最后,在采用优化后的固定座组件及碳化硅杆结构基础上,通过对光轴直径、碳化硅杆的直径和壁厚进行仿真,得到整个推舟机构最佳的结构参数,可满足管式PECVD设备的大产能需求。

关键词(KeyWords): 太阳电池;PECVD设备;推舟机构;结构优化;ANSYS软件;仿真

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 2021年度长沙市技术创新中心项目(kh2101010);; 湖南省创新型省份建设专项任务书(2019年度)(2019TP2048)

作者(Author): 朱辉,成秋云,李晔纯,曾昭贤,龙辉

DOI: 10.19911/j.1003-0417.tyn20210914.02

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