阴极等离子源对太阳选择性吸收涂层金属基材表面清洁的研究Study on metal surface cleaning of solar selective absorbing coating substrate by cathode plasma source
陈刚,裴宏伟,祝明
摘要(Abstract)：
为改善太阳选择性吸收涂层基材镀膜前的清洁状态及增加基材表面的活性,本文研发了一种利用电磁场压缩原理而具有汇聚作用的新型等离子源,使太阳选择性吸收涂层基材在镀膜前,被含有氧成分的高能等离子电子束轰击,使基材表面碳氢化合物转化为易挥发的二氧化碳,再由真空泵抽走,起到清洁基材及增加表面活性的功能。
关键词(KeyWords)： 太阳选择性吸收涂层;阴极等离子源;磁控溅射;电子束;金属基材;表面清洁
基金项目(Foundation): 国家科技支撑计划(2015BAA02B02)
作者(Author): 陈刚,裴宏伟,祝明