高纯多晶硅材料行业竞争新格局
严大洲,李爱民,万烨,杨永亮,张升学,赵雄,何伟,汤传斌
摘要(Abstract)：
研究多晶硅生产的工艺技术、装备、产品质量、能耗、环保和成本等方面发生的巨大变化,提出维护高纯多晶硅健康发展的建议。
关键词(KeyWords)： 高纯多晶硅;三氯氢硅法;硅烷法;技术进步;成本
基金项目(Foundation):
作者(Author): 严大洲,李爱民,万烨,杨永亮,张升学,赵雄,何伟,汤传斌
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