太阳能

1991, (01) 23-24

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制造太阳电池的关键——P-N结的形成

摘要(Abstract):

<正> 第一个有实用价值的太阳电池是硅太阳电池,至今它仍是应用最广、性能最好的光伏器件。所以,我们还是从硅太阳电池制造工艺和技术谈起。硅太阳电池的P-N结,并不是用两块不同导电类型的半导体接触形成的,而是采用杂质热扩散技术,如在一块P型半导体内,扩散进足够量的N型杂质,补偿原有的导电类型,建立相反导电类型的方法形成的[见图4(a)]。在硅半导体中,均匀掺杂P型元素,其浓度c,从半导体表面(X=O处)直到半导体的任意深度(X)都是相同的。此时,再让另一种杂质元素,在1000℃左右的温度下,从半导体表面向体内扩散,其浓度分布为C_N,在X_f处双方浓度相等。由于C_N和

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