唐轩,李春梅

• 1:北京清华阳光能源开发有限责任公司技术发展中心 高级工程师副总监

摘要(Abstract)：

<正>一、引言由清华大学电子工程系殷志强教授采用单阴极磁控溅射系统实现了选择性吸收涂层的规模化生产,并通过国家重点产、学、研工程的实施,集中了多项专利的晒乐牌全玻璃真空太阳集热管以其高性能的光-热转换效率和低生产成本,为我国的太阳能事业带来了巨大的发展。但是,普通的晒乐集热管的选择性吸收涂层的性能参数仍未达到实验室水平。要达到实验室水平,按目前的工艺,涂层的制备时间要成倍增长,使生产效率降低,成本增加。1996年殷志强教授就开始了利用结构简单的单

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作者(Author): 唐轩,李春梅

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