太阳能

2016, No.263(03) 38-39

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黑硅技术的专利分析

姚日英,宫龙飞

摘要(Abstract):

针对黑硅技术进行专利技术综述分析,对国内外专利申请情况进行梳理,为国内黑硅技术研究发展提供参考。

关键词(KeyWords): 黑硅;飞秒激光;离子束刻蚀;金属诱导辅助;电化学;专利分析

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 姚日英,宫龙飞

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