王贵梅,王德昌,许志卫,王玉涛,刘苗

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摘要(Abstract)：

本文以PERC单晶硅太阳电池电致发光(EL)图像边缘发黑现象为研究对象,推测造成其EL图像边缘发黑的原因,并通过相关测试进行了原因验证。验证结果表明:制绒机烘干槽被NaOH污染是导致PERC单晶硅太阳电池EL图像出现边缘发黑的原因,通过调节机械手的参数、减少烘干槽中碱性液体的带入、优化制绒机内部的排风、减少制绒槽中NaOH蒸汽到烘干槽过程中的挥发、对烘干槽进行定期维护与清理等措施,可以杜绝此类EL图像边缘发黑的PERC单晶硅太阳电池的产生,从而可提高该太阳电池生产线的良品率。

关键词(KeyWords)： PERC单晶硅太阳电池;EL;边缘发黑;制绒机;烘干槽;NaOH污染

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基金项目(Foundation):

作者(Author): 王贵梅,王德昌,许志卫,王玉涛,刘苗

DOI: 10.19911/j.1003-0417.tyn20200817.02

参考文献(References)：

• [1]王文静.晶体硅太阳电池制造技术[M].北京:机械工业出版社,2013,242-246.
• [2]王蔚.集成电路制造技术原理与工艺[M].北京:电子工业出版社,2016,62.