激光掺杂设备在PERC太阳电池生产中的应用APPLICATION OF LASER DOPING EQUIPMENT IN THE PRODUCTION OF PERC SOLAR CELLS
李少猛,赵爱爽,张黎静,李朝,黄正业
摘要(Abstract):
首先介绍了在太阳电池生产过程中激光设备的类型,阐述了激光掺杂工艺在PERC太阳电池生产过程中的重要作用,然后介绍了激光掺杂设备的原理和结构,以及其光斑聚焦原理,提出了光斑异常解决方案,并分析了光路维护要求,提出了可保证了激光掺杂设备高效稳定运行的维护方法。随着对激光设备的深度了解及太阳电池技术的进一步升级,对激光设备的要求会更高,通过不断的优化,激光技术将在太阳电池产业化制造领域得到较好的应用和提升,激光设备也将更快地普及到更多领域。
关键词(KeyWords): 激光设备;激光掺杂;PERC太阳电池;选择性发射极;激光发射器;光斑;光路
基金项目(Foundation):
作者(Author): 李少猛,赵爱爽,张黎静,李朝,黄正业
DOI: 10.19911/j.1003-0417.tyn20211215.01
参考文献(References):
- [1]汤亮,张董洁,龚发云,等.全自动太阳能残片激光划片机系统设计[J].机床与液压,2019(2):9-12.
- [2]张陆成,王学孟,沈辉.激光热效应在高效太阳电池工艺中的应用[J].激光与光电子学进展,2009,46(5):41-46.
- [3]刘源,李正佳,吴奇彬.用于切割硅薄膜太阳能电池的激光器研究[J].激光与光电子学进展,2005,42(5):43-47.
- [4]伍波,刘永智.高功率光纤激光器相干合成研究[J].激光与光电子学进展,2006,43(8):56.
- [5]陈清明,周风晴,李晓平,等.高功率激光圆偏振镜的研究[J].激光技术,1992,16(4):193-196.
- [6]谢永杰.激光场相速度分布与激光加速电子的研究[D].上海:复旦大学,2004.