李少猛,赵爱爽,张黎静,李朝,黄正业

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摘要(Abstract)：

首先介绍了在太阳电池生产过程中激光设备的类型，阐述了激光掺杂工艺在PERC太阳电池生产过程中的重要作用，然后介绍了激光掺杂设备的原理和结构，以及其光斑聚焦原理，提出了光斑异常解决方案，并分析了光路维护要求，提出了可保证了激光掺杂设备高效稳定运行的维护方法。随着对激光设备的深度了解及太阳电池技术的进一步升级，对激光设备的要求会更高，通过不断的优化，激光技术将在太阳电池产业化制造领域得到较好的应用和提升，激光设备也将更快地普及到更多领域。

关键词(KeyWords)： 激光设备;激光掺杂;PERC太阳电池;选择性发射极;激光发射器;光斑;光路

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基金项目(Foundation):

作者(Author): 李少猛,赵爱爽,张黎静,李朝,黄正业

DOI: 10.19911/j.1003-0417.tyn20211215.01

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