太阳电池生产中的等离子腐蚀
马惠琼
摘要(Abstract):
<正> 经过扩散的硅片周边表面也形成扩散层,它使电池的上电极和下电极形成短路环,周边上存在任何微小的短路都会降低电池的并联电阻,所以在电池生产中必须把周边的扩散层除去,方法有化学药品腐蚀法及等离子体腐蚀法。后者是较理想的方法。等离子态是物质的第四态,物质的三态(固态、液态、气态)其原子结构是不会变的,而第四态由于原子外层的电子都飞逸而出,使一个个原子核裸露出来,电子和原子核弥漫混杂在一起,此时带正电荷的原子核和带负电荷的电子所带的总电荷数几乎相等,所以
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作者(Author): 马惠琼