郭信章

摘要(Abstract)：

<正> 真空镀膜技术在太阳电池和选择性材料制备等方面具有广泛的应用,但不少读者对它不十分熟悉,为此,本文向大家作一简要的介绍。真空镀膜设备由真空工作室、抽空系统——油扩散泵和机械泵、测试及电气系统三大部分组成,如图1所示。

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作者(Author): 郭信章

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