2020年中国光伏技术发展报告——晶体硅太阳电池研究进展(7)Report on 2020 China PV technology development——Research progress of crystalline silicon solar cells(part 7)
摘要(Abstract)：
<正>2019年,HJT电池产业界出现了一种新型的TCO膜材料,称为SCOT~[30],其成分比例为In_2O_3:ZrO_2:TiO_2:Ga_2O_3=98.5:0.5:0.5:0.5。这是一种可以制备成磁控溅射旋转陶瓷靶的接近IWO的材料,由于其可以制备成高In含量的靶材,因此导电性较好,但针对这种靶材的一些细节并未报道太多。
关键词(KeyWords)：
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作者(Author):
DOI: 10.19911/j.1003-0417.tyn2020.07
参考文献(References)：
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