多晶硅还原炉用方、圆硅芯性价分析及展望
王荣跃,马军
摘要(Abstract):
本文对方形、圆形硅芯的制造成本、使用特点、可能的其他形态,以及其在多晶硅生产中的性价成本等方面作了较为透彻的评析及展望。
关键词(KeyWords): 方、圆硅芯;制造成本;使用性价比;多晶硅生产
基金项目(Foundation):
作者(Author): 王荣跃,马军
摘要(Abstract):
本文对方形、圆形硅芯的制造成本、使用特点、可能的其他形态,以及其在多晶硅生产中的性价成本等方面作了较为透彻的评析及展望。
关键词(KeyWords): 方、圆硅芯;制造成本;使用性价比;多晶硅生产
基金项目(Foundation):
作者(Author): 王荣跃,马军