太阳能

2021, No.324(04) 74-80

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预热型管式PECVD设备结构及其对镀膜性能影响的研究
RESEARCH ON STRUCTURE OF PREHEATING TUBULAR PECVD EQUIPMENT AND ITS INFLUENCE ON COATING PERFORMANCE

龙会跃,李明,郭艳

摘要(Abstract):

研究了预热型管式PECVD设备的结构及其对镀膜性能的影响。通过合理利用管式PECVD设备的净化台空间,对常规型管式PECVD设备的整体结构进行了优化设计,增加了具有预热功能的结构部件;然后通过实验研究了该预热型管式PECVD设备对沉积氮化硅薄膜工艺的影响。实验结果表明:预热型管式PECVD设备不仅能减少镀膜工艺的时长,提高产能,而且有利于提高炉管反应室截面温度场的均匀性、所镀膜厚的均匀性、太阳电池光电转换效率分布的集中度,从而有利于提高太阳电池的电性能,可在实际生产中推广应用。

关键词(KeyWords): 管式PECVD;预热;镀膜;均匀性;优化设计

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 龙会跃,李明,郭艳

DOI: 10.19911/j.1003-0417.tyn20200427.01

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