摘要(Abstract):
<正>石英玻璃坩埚是单晶硅生产中的关键必需品。由于石英玻璃坩埚在单晶硅生产中的成熟应用,人们自然地将石英玻璃坩埚移植到多晶硅的生产中,结果导致了应用失败。技术上成熟的方法是采用陶瓷坩埚提纯多晶硅,在物理法提纯太阳能级多晶硅
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基金项目(Foundation):
作者(Author): 陈圣贤