2020年中国光伏技术发展报告——晶体硅太阳电池研究进展(6)Report on 2020 China PV technology development——Research progress of crystalline silicon solar cells(part 6)
摘要(Abstract):
<正>7)其他正在开发PECVD设备的公司。目前至少有3家公司正在开发PECVD设备产品,分别是北京捷造公司、捷佳伟创公司和迈为公司。北京捷造公司已经开发出1台可用于产业化的链式PECVD设备,并提供给汉能公司进行试验,且得到了不错的反馈。捷佳伟创公司致力于打造制备HJT电池时各个环节所需设备,并试图进行交钥匙解决方案。
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DOI: 10.19911/j.1003-0417.tyn2020.06