• 1:中国可再生能源学会光伏专业委员会

摘要(Abstract)：

<正>7)其他正在开发PECVD设备的公司。目前至少有3家公司正在开发PECVD设备产品,分别是北京捷造公司、捷佳伟创公司和迈为公司。北京捷造公司已经开发出1台可用于产业化的链式PECVD设备,并提供给汉能公司进行试验,且得到了不错的反馈。捷佳伟创公司致力于打造制备HJT电池时各个环节所需设备,并试图进行交钥匙解决方案。

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基金项目(Foundation):

作者(Author):

DOI: 10.19911/j.1003-0417.tyn2020.06

参考文献(References)：

• [29]陈麒麟.Low cost and high throughput for large scale SHJproduction[R].2nd International Workshop on SHJ Solar Cells,成都,2019.