背膜工艺占功比对PERC太阳电池效率影响的研究Study on the effect of back film process occupation ration on the efficiency of PERC solar cell
陈刚,康忠平,江坚,张剑峰
摘要(Abstract)：
研究了一种通过调整A型416管式PECVD的背膜工艺占功比,使等离子体辉光放电稳定均匀,改善PERC多晶硅太阳电池背膜均匀性,同时提升电池效率的方法。
关键词(KeyWords)： PERC;416管式PECVD;背膜工艺;效率
基金项目(Foundation):
作者(Author): 陈刚,康忠平,江坚,张剑峰
参考文献(References)：
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