太阳能级硅料的污染杂质及清洗技术浅谈
马瑾
摘要(Abstract):
介绍了太阳能级硅料中存在的各种污染杂质的类型,分析了其产生的原因,并概要总结了去除各种杂质的方法和清洗技术。
关键词(KeyWords): 太阳能级;硅料;污染;清洗技术
基金项目(Foundation): 陕西国防工业职业技术学院2015年科研基金资助项目(Gfy15-02)
作者(Author): 马瑾
参考文献(References):
- [1]刘立新,罗平,李春,等.单晶硅生长原理及工艺[J].长春理工大学学报,2009,32(4):569-573.(转第77页)
- [2]李家澍.单晶硅太阳能电池制绒前清洗的研究[D].上海:复旦大学,2013.
- [3]毛智慧,周文韬,田琦,等.晶体硅材料中杂质元素分析方法研究进展[J].化学分析计量,2015,24(2):102-105.
- [4]王平.太阳能级硅片加工过程中重金属杂质的小潮及其清除机理的研究[D].河北:河北工业大学,2010.
- [5]陈发勤,吴彬辉,胡江峰,等.多晶硅“碳头料”清洗使用研究[J].太阳能,2012,(3):26-30.
- [6]李振国,赵可武.用于多晶体“碳头料”硅碳分离的蚀刻液及其制备方法[P].中国:CN200810017582,2008-08-06.
- [7]陈贵财.太阳能多晶硅片表面污染物去除技术的研究[D].辽宁:大连理工大学,2011.
- [8]周基江,汪钉崇,王仁杰.太阳能产业用硅料的新处理工艺[A].太阳能光伏会议论文集[C],常州,2008.
- [9]张群社,赵可武,李淑丽,等.硅料清洗剂及硅料清洗的方法[P].中国:CN102010797,2011-12-28.
- [10]冯文宏,刘俊飞.硅片处理过程中产生的废硅料的清洗方法[P].中国:CN102694074,2015-07-01.