生产高品质多晶硅质量控制要点
吴锋,姜海明,任小红
摘要(Abstract):
通过分析多晶硅生产过程中的关键控制点,力求用最低的成本来生产质量最好的多晶硅产品。对多晶硅产品电性能、表观质量影响因素进行分析,列出相关控制要点及控制措施,并按照造成影响的后果将关键质量控制点划分为3级,不同等级的质量控制点按不同的要求进行管理,以达到平衡成本和质量的目的。
关键词(KeyWords): 多晶硅;关键质量控制点;电性能;表观
基金项目(Foundation):
作者(Author): 吴锋,姜海明,任小红