PERC电池EL暗片研究Analysis on EL detect on PERC solar cell black area
康忠平,陈刚,江坚,张剑峰,王仕鹏,黄海燕,陆川
摘要(Abstract)：
介绍了一种通过调整背钝化工艺改善多晶硅背钝化电池缺陷的方法。采用背钝化新型电池片工艺,在正常生产过程中EL会呈现有规律的区域发暗,严重影响电池片性能。本文通过优化PECVD工艺时间和退火温度,使电池片EL区域发暗得到解决,同时还提升了电池片效率。
关键词(KeyWords)： PERC;PECVD;ARD;背钝化;氧化铝;EL暗片
基金项目(Foundation):
作者(Author): 康忠平,陈刚,江坚,张剑峰,王仕鹏,黄海燕,陆川