SiN_x减反射层对组件抗PID能力影响
梁吉连,刘平,卢玉荣,张剑锋,王仕鹏,黄海燕,陆川
摘要(Abstract)：
利用管式PECVD工艺,通过调整气体流量比,得到减反射性能较佳的双层SiN_x:H膜电池片,再对电池片封装成的光伏组件进行96 h、300 h的PID实验,得出较佳的抗PID工艺。实验结果表明,当折射率<2.05时,电池片的抗PID效果较差,当折射率>2.16时,抗PID效果显著;即减反射层工艺为达到较高的光电转化效率并同时满足抗PID效果,控制SiN_x膜电池片的折射率为2.16±0.02;即淀积1的较佳流量比NH3/SiH4为4.83,淀积2的较佳流量比NH_3/SiH_4为13.33,在此配比下电池片外观正常,电性能稳定性较好,同时组件抗PID测试300 h后衰减<5%。
关键词(KeyWords)： SiNx;减反射层;NH3/SiH4流量比;PID现象
基金项目(Foundation):
作者(Author): 梁吉连,刘平,卢玉荣,张剑锋,王仕鹏,黄海燕,陆川
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