江华

• 1:赛迪智库电子信息产业研究所

摘要(Abstract)：

<正>1技术趋势1.1多晶硅生产技术改良西门子法与硅烷法共存目前,国际上主流的多晶硅生产技术以改良西门子法为主,该方法生产的多晶硅纯度较高、产品质量较稳定,并且经过多年发展,技术已相对成熟。硅烷流化床法生产技术则主要掌握在MEMC与REC这两家企业手中,虽然硅烷法生产的多晶硅纯度没有改良西门子法高,但电耗相

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作者(Author): 江华

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