• 1:中国可再生能源学会光伏专业委员会

摘要(Abstract)：

<正>对于板式PECVD设备而言,由于现有产线是针对M2硅片设计的,因此该类设备的宽度余量有限,而增大硅片的尺寸必定会减小单个载板的硅片数量。表10为目前占据主流市场的Meryer Burger公司的板式PECVD设备的参数。从中可以看出,其载板放置硅片片数为6行6列,采用边长为156.75 mm的M2硅片,不算边缘的硅片,载板总宽度为904.5 mm;若采用边长为166 mm的硅片,载板总宽度将会达到966 mm,

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参考文献(References)：

• [9] ROLAND UTAMA. PERC upgrade to using PECVD polySi:23.5%cells and 345W modules[R].第十五届中国太阳能级硅及光伏发电研讨会,上海, 2019.
• [10] Solarbe索比光伏网. PV InfoLink林嫣容：大硅片将成为2019年主要发展路线之一[EB/OL](2019-01-17).https://www.sohu.com/a/289558751_418320.